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MEMS智能傳感器等微納制造技術(shù)的發(fā)展趨勢與發(fā)展建議（前沿研究）

微納制造技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)微納米級別的高精密加工，是現(xiàn)代高科技制造領(lǐng)域的核心技術(shù)。提升微納制造技術(shù)水平，有助于提高中國高端制造業(yè)的整體競爭力，對推動科技創(chuàng)新和促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級具有積極意義。文章概述了微納制造技術(shù)體系，著重分析了芯片微納制造、激光微納制造和聚…